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单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统- 电容式传感器工作原理
电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图1所示。
图1 单电容式和差分电容式传感器
(a) 单电容传感器
(b) 差分电容传感器
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背景
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